固有误差主要来源于测量仪器自身的缺陷,如仪器的结构、原理、使用、安装、测量方法及其测量标准传递等造成的误差。固有误差的大小直接反映了该测量仪器的准确度。一般固有误差都是对示值误差而言,因此固有误差是测量仪器划分准确度的重要依据。测量仪器的最大允许误差就是测量仪器在参考条件下,反映测量仪器自身存在的所允许的固有误差极限值。
固有误差是相对于附加误差而言的。附加误差就是测量仪器在非标准条件下所增加的误差。额定操作条件、极限条件等都属于非标准条件。非标准(即参考)条件下工作的测量仪器的误差,必然会比参考条件下的固有误差要大一些,这个增加的部分就是附加误差。它主要是由于影响量超出参考条件规定的范围,对测量仪器带来影响的所增加的误差,即属于外界因素所造成的误差。因此测量仪器使用时与检定、校准时因环境条件不同而引起的误差,就是附加误差;测量仪器在静态条件下检定、校准,而在实际动态条件下使用,则也会带来附加误差。